Резултати
| Назив: | Diagnostic Measurements in RF Plasmas for Materials Processing | Аутори: | Roberts J. R; Olthoff J. K; Sobolewski M. A; Van-Brunt R. J; Whetstone J. R; Djurović Stevica  |
Година: | 1991 | Публикација: | AIP Conference Proceedings 257 Process Module Metrology, Control, and Clustering, Process Module Metrology, Control, and Clustering, Portland, USA, 1991 | Тип резултата: | Конференцијски рад | ISBN: | 0-88318-939-9  Претражи идентификатор |
Колација: | str. 157-168 | URI: | https://www.cris.uns.ac.rs/record.jsf?recordId=7514&source=eNauka&language=en https://enauka.gov.rs/handle/123456789/585157 |
М-категорија: | Мп категорија ће бити приказана накнадно. |
Google ScholarTM
Резултати на еНаука су заштићени ауторским правима и сва права су задржана, осим ако није другачије назначено.